Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем

Обобщенные трудовые функции специалистов, окончивших данную программу:

• моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ (анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ, разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ, подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ, моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD));

• подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства (разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации, планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ, разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ, реализация технологии на основе электронной литографии);

• осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ (проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике, подготовка и квалификация машин к росту продукции, определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев, проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика);

• проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ (анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии, определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ, согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации, управление командой по реализации ОРТ).

Наименования должностей, профессий: Ведущий инженер-технолог, Инженер-технолог.